第一三七章 折中方案（1 / 2）

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孙健估计，euv&nbp;联盟在明年底前就能证明制造euv光刻机在理论上的可行性，但euv光刻机量产最起码还需要10年，如今也不能告诉大家，到时由be免费提供193n浸没式光刻机专利技术给ga。

be是在ga拥有的第一代193narf准分子激光器专利技术基础上研发成功193n浸没式光刻机技术，核心还是ga拥有技术专利的193n准分子激光器，ga研制的第二代、第三代193n准分子激光器也授权be技术；虽然浸没式光刻技术属于be重新开发的公司发明专利，但按照当初签订的专利技术授权转让合同，要免费授权给ga使用，就像ga去年研发成功的第三代（12英寸晶圆、90n制程工艺）磁悬浮式双工作台系统，专利还是属于be，授权ga免费使用。

15u800n制程工艺的光刻机配套6英寸晶圆，500n180n制程工艺光刻机配套8英寸晶圆，90n以下的都配套12英寸晶圆，相配套的磁悬浮工作台系统分别称为第一代、第二代、第三代，一代中还有子代，核心技术还是be拥有公司发明专利的第一代。

ga研发成功第二代、第三代磁悬浮式双工作台系统通过夏季常院士领导的光刻机自动化研究所改进后，青出于蓝而胜于蓝，返还ga使用，授权其他光刻机公司升级。

be光刻机自动化研究所将来研制为12英寸晶圆、65n制程工艺浸没式光刻机配套的磁悬浮式双工作台系统将称为第四代，10n称为第五代、7n称为第六代……be拥有的磁悬浮式双工作台系统的公司发明专利不会失效。

两家公司虽然都是孙健控股，手背手心都是肉，但严格按照两国法律办事，不会留下被人攻击的把柄。

以ga如今的江湖地位、财力和技术实力，愿意同vg联合开发157n激光器，对双方都有利，如何说服papen同意就不是孙健关心的事了。

“好的，董事长！”

“好的，董事长！”

孙董事长同意两条腿走路，艾德里安和汤普森放心了，他俩有信心说服papen。

其他董事也露出笑容。

孙健也没办法说服公司高层放弃研究157n激光器，只能折中。

1999年财报显示，vg的销售收入只有27亿美元，不到ga的5，157n激光器技术路线在前世已被证明没有远大前途，孙健不能明说，也说不清楚，正好借这次董事会的机会否决了ga高层打算投资10亿美元收购vg的意向。

前世，为了能进入euv&nbp;联盟，给美国政府一份投名状，a花费16亿美元收购了市值10亿美元的vg，拿到了157n激光器需要配置的反折射镜头技术，由于已经研发成功193n浸没式光刻机技术，光刻效果超过nin的157n光刻机技术，vg的157n激光器技术被束之高阁。

前世，nin费尽心机，在a研究成功193n浸没式光刻机二年后，也研制成功157n激光器，攻克了193n波长的世界级难题，研制成功65n制程工艺光刻机，但光刻效果不如65n制程工艺的a浸没式光刻机好，inte、台积电和三星等光刻机等三家全球最重要客户不买账，nin不得不另起炉灶，重新开始研发浸没式光刻机，nin技术实力雄厚，竟然也研制成功，但一去一回，耽误了三、四年的时间，高端光刻机市场被a占据了，随着euv光刻机面世，超高端光刻机市场也被a垄断，日本举国之力也没有研制成功euv光刻机，nin丧失了同a竞争的资格，在中端光刻机市场混日子。

光刻机产业和晶圆制造产业都属于劳动密集型和资金密集型产业，优胜劣汰，前世全球只剩下3、4家！

be将来能否研制成功euv光刻机不是孙健操心的事情，尽力就够了！

累死了，痛苦会留给家人！

重生者也不想当什么英雄

a是否投巨资收购vg？得到其157n激光器需要配置的反折射镜头技术，早日开发成功157n激光器，ti作为战略投资者，不干涉a的日常经营活动。

全球数码相机霸主ann看不上一年全球只有500台左右光刻机的生意，没有全心研发光刻机，但今年3月也研制成功180n制程工艺的光刻机，如今正在研制90n制程工艺的光刻机，技术水平排在全球第4位，在全球中低端光刻机市场占据5成的市场份额。